SCT-7800T、7000T、6800T中RAEV6.0之后的装置在CRSCAN时会发生“The system lost information for the table position”以及表示错误信息,无法建立PLAN等现象。 其原因是:床水平移动的Potentiometer不良及调整不良,因此请进行(SCONST)再调整,或更换电位器。 当发生此现象时,scp中会留有下列记录。 Scp.log
FILE: scpplnmain.c FUNCTION: PlnMainSetupOfDisplay LINE:1523 DESCRIPTION: < LAN>Bed 0 position check Bed Abs[ 32240 ] Rel[0] Pln Abs[31000] Rel[0] Diff[1240]:[500] 存在500以上时为偏差
〈/ERROR〉
这是当CR时绝对位置与实际移动量的差为500(5mm)以上时,发生错误。 Rev5.6以前的装置因未做这样的检查,所以不会发生错误,从Rev5.6变到Rev6.0之后,请特别留意。
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