瓦里安23EX型直线加速器真空电流无法回零故障

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                    <header><p><p><img src="image/20201019/27c2bef2264902feeb2edb748387bf64_1.png" /></p></p><h1>瓦里安23EX型直线加速器真空电流无法回零故障</h1><br  /></header><p><br  /></p><article><p>　　<p><img src="image/20201019/25731999523fffde143160d99b30e706_2.jpg" /></p></p><p><strong>&nbsp; 一. &nbsp; 故障现象</strong>：初次发现出VAC2联锁。进入维修模式看到主泵真空电流(ACL<br  />VAC)达到700多微安，有时会上升到900多微安，电子枪真空电流(GUN
VAC)为0。首先考虑更换VACIONHV POWER
SUPPLY和VACIONCONTROL两块电路板，无明显效果。怀疑某处有漏孔，用丙酮分别对靶的水管、靶的波纹管、能量开关、钛泵法兰以及BMAG的出束窗口进行检漏，均无明显效果。最后考虑加速管主离子泵里有污染，决定用高压(约10kV)外加到主泵上进行高压冲击，约十五分钟后，断开高压观察到主离子泵真空电流降为0微安左右，说明高压起到了吸附作用，机器也正常工作了1年时间，首次故障初步解决后又出现上述故障，并且此次枪泵真空电流也上升到5微安左右，用高压外加到主泵上冲击已无法使真空电流回到0，最多下降到200微安左右，且使用几天后会上升到700多微安，机器出VAC2联锁，无法正常工作。</p><p>　二.<strong>故障分析</strong>：瓦里安23EX型直线加速器的加速管采用的是具有可拆卸密封的驻波加速管，电子枪的阴极设计成可拆卸的密封结构。主泵配备了抽速大(20L/S)的离子泵，电子枪增加了一台离子泵(8L/S)。在正常工作时，加速器应达到超高真空的状态即压强为l0～7Pa。所以要求离子泵一直处于工作状态。平时在维修模式里通过主泵和枪泵的放电电流可以反映出管内的真空度，当该电流达到数百微安乃至毫安级时说明可能有漏孔，瓦里安23EX型直线加速器主泵真空电流超过700微安或枪泵真空电流超过50微安时出VAC2联锁。</p><p>　　三.<strong>故障维修</strong>：第二次用10kV高压冲击主泵后真空电流降至0微安左右，但因为主泵的正常工作电压为5kV，冲击用的是10kV的高压，可能已导致主泵的抽速降低，无法恢复到0。决定更换主离子泵，重新抽真空，更换后主泵的真空电流冷机时维持在100微安左右，但热机时达到350微安左右，此故障现象表示可能某处有微小漏孔，抽真空速率与漏气速率达到了某种平衡，决定重新用丙酮进行检漏，在检查到BMAG出束窗口时，主泵真空电流从350微安迅速下降到150微安，而且还有继续下降的趋势，由此判断出此处有漏孔，考虑到病人治疗因素，先用专用进口真空胶堵漏，堵上后主泵真空电流下降到几个微安，枪泵真空电流也下降到0.3微安，故障排除。</p></article><p><br  /></p><p><br  /></p>