GE16排不能曝光探测器故障

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一、 机器故障现象是系统不能扫描，报scan hardware stopped error。

二、 检查机器不能扫描，做日常校正也是不能做的，那这可能是高压出现问题。查看错误日志

 

其报DAS Temperature is nearing the Upper Limit错误，此为探测器的温度过高所至，散热不好，对探测器的防尘网进行除尘。扫描正常。

三、 维修小结

   这次故障还是相对来说是比较简单的，只要好好查看错误日志里的信息，根据其提示来处理问题。